Учебное пособие. — СПбГПУ, 2011. — 190 с.
Предлагаемое учебное пособие ставит целью ознакомить студентов с основами наиболее востребованных методов электронной и ионной спектроскопии, широко применяющимися для анализа материалов, структур и компонентов электронной техники в микро и наномасштабе
В пособии описываются методы электронной и ионной спектроскопии для анализа...
Комментарии