Springer, 2010. — 678 p. The Handbook's coverage of sensors is extensive, ranging from simple photodiodes to complex devices containing components in combination. It offers hard-to-find reference data on the properties of numerous materials and sensing elements and emphasizes devices that are less well-known, whose technology is still being refined, and whose use permits the...
WCB/McGraw-Hill, 1998. — xx, 911. — (McGraw-Hill Series in Electrical and Computer Engineering). — ISBN: 978-0072907223. Designed for a graduate-level course in micromachined devices, or as an introduction to the field for practicing engineers, this book presents an overview of the field, beginning with-micromachining approaches and including all major categories of...
Kluwer Academic Publishers, 2005. — xi, 405 p. — ISBN: 978-0-387-23037-5. This book offers a comprehensive coverage to the mechanics of microelectromechanical systems (MEMS), which are analyzed from a mechanical engineer’s viewpoint as devices that transform an input form of energy, such as thermal, electrostatic, electromagnetic or optical, into output mechanical motion (in...
Gistrup: River Publishers, 2021. — 276 p. Considerable amount of effort has been devoted, over the recent years, towards the development of electronic skin (e-skin) for many application domains such as prosthetics, robotics, and industrial automation. Electronic Skin: Sensors and Systems focuses on the main components constituting the e-skin system. The e-skin system is based...
Навчальний посібник. — К.: Інтерсервіс, 2015. — 383 с. — ISBN 978-617-696-291-5. Наведено основні відомості про сучасний рівень науково-технічних досягнень у галузі наноелектроніки на основі напівпровідників, феромагнетиків, надпровідників, графену, вуглецевих нанотрубок та описані інші підходи. Посібник призначений для студентів ВНЗ України з електроніки, радіофізики, фізики,...
Монография в двух частях. — М.: Техносфера, 2018. — 550 с. — ISBN 978-5-94836-498-8. В книге изложены современные принципы построения, методы расчета и проектирования микросистемных датчиков физических величин и измерительных систем на их основе. Приведены примеры разработок новых изделий. Направления «Электроника и наноэлектроника», «Радиотехника», «Инфокоммуникационные...
М.: Техносфера, 2004. — 528 с. — ISBN: 5-94836-030-Х. В монографии подробно рассмотрены вопросы проектирования и применения, а также технологические аспекты производства разнообразных микроэлектромеханических устройств: переключателей, регулируемых индукторов и конденсаторов, фильтров, фазовращателей, линий передач и антенн, приведены преимущества и недостатки каждой отдельной...
В.П. Василевич, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, Ю.А. Родионов. — Полоцк: ПГУ, 2001 — 260 с. (книга не полностью, только 190 страниц). В монографии изложены основы химической обработки полупроводниковых пластин и технологии производства интегральных микросхем (ИМС). Проведена классификация загрязнений на поверхности пластин. Определено влияние каждого вида...
Учебное пособие. — Петрозаводск: Из-во ПетрГУ, 2016. — 171 с. В пособии приводится анализ распространённых типов микроэлектромеханических систем (МЭМС) и нанооэлектромеханических систем (НЭМС), сферы их применения, основные способы изготовления с описанием базовых технологических процессов, физические принципы, лежащие в основе работы МЭМС, а также способы компьютерного...
Лабораторный практикум. — М.: МИСиС, 2011. — 161 с. Содержит описание 12 лабораторных работ по курсам «Технология материалов магнитоэлектроники» и «Материаловедение магнитоэлектроники». Приведены методики определения характеристик порошков, а также измерения и расчета электромагнитных и механических свойств спеченных керамических материалов. Рассмотрена связь химического и...
Учебное пособие. — Минск: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 2018. — 196 с. — ISBN: 978-985-543-341-6. Предназначено для изучения второй части интегрированной дисциплины «Основы твердотельной электроники», которая состоит из технологической и приборной частей. Рассматривается физика работы, параметры и конструкции маломощных и силовых моно-...
Учебное пособие. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 50 с. В учебном пособии рассматриваются физические возможности измерения температуры, используемые в микросистемной технике (МСТ), и возможности их интегральной реализации. В частности, подробно описываются активные сенсоры температуры на основе термоэлектричества (эффект Зеебека), пассивные способы, основанные на измерении...
Москва, Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1998 г.
Учебное пособие посвящено основным вопросам проектирования волнового твердотельного гироскопа, включая выбор расчетной модели погрешностей, рекомендации по определению параметров систем управления резонатором, съема и обработки информации, методике балансировки и испытаний гироскопа.
Учебное пособие написано в соответствии с...
Учебное пособие. - М.: Машиностроение, 2007. - 400 с.: ил.
Изложены терминология, классификация, конструкции и принципы работы микромеханических осевых и маятниковых акселерометров, датчиков давления и гироскопов LL-, LR- и RR-типов. Даны описание и расчет прямых (датчиков перемещений и деформаций) и обратных (датчиков сил и моментов) преобразователей в микромеханическом...
Учебное пособие. — М.: Инфра-Инженерия, 2019. — 288 с.: ил., табл. — ISBN 978-5-9729-0336-8. Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника. атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения,...
Комментарии