Родионов Ю.А. Основы микросенсорики

Учебное пособие. — М.: Инфра-Инженерия, 2019. — 288 с.: ил., табл. — ISBN 978-5-9729-0336-8.Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника. атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий. обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков.Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.Введение
Термины и определения
Элементы метрологии
Датчики на основе гальваномагнитных эффектов
Датчики давления
Датчики температуры и теплового излучения
Датчики скорости и ускорения
Газоанализаторы
Датчики влажности
Датчики изображения
Детекторы радиоактивного излучения
Актюаторы
Перспективные направления в микросенсорике
Датчики в вакуумно-плазменной технике и технологии
Приложения 1-5.