Орликов Л.Н. Основы технологии оптических материалов и изделий. Часть 1

Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2012. — 88 c.В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства оптических материалов и изделий и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоинформатика» по дисциплине «Основы технологии оптических материалов и изделий».Введение.
Физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий фотоники.
Кинетические диффузионные и поверхностные явления межфазные взаимодействия в технологических процессах.
Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой
и лазерной технологии.
Контрольные вопросы (к каждой главе).
Список рекомендуемой литературы.